「MEMSセンシング&ネットワークシステム展 2021」ではパターンニング技術と微細検査技術をご紹介いたします。是非当社ブースにご来場ください。
MEMSセンシング&ネットワークシステム展 2021
会 期：2020年12月9日(水) – 11日(金) 10:00 ～ 17:00 (3日間共通)
会 場：東京ビッグサイト 西ホール/会議棟
ブース：西1ホール 1W-E29
「MEMSセンシング&ネットワークシステム展 2021」ホームページ
▼┃デ┃モ┃機┃展┃示┃▼
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●『ムラビューワー』
目視では観察の難しいマクロのムラ・キズ・異物を可視化する装置です。
ガラス・フィルムのような透明試料から、Siウェハのような不透明試料の観察も可能です。
また、試料をお持ちいただければその場で撮像も対応可能です。
▼┃動┃画┃展┃示┃▼
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●『手動マスクアライナー』
片面・裏面・両面の各種アライメントに対応、特殊仕様にも柔軟に対応
●『自動マスクアライナー』
CtoCの自動露光機、片面・裏面アライメント対応
●『外観検査装置』
ローダーアンローダー機能付きオートアライメント露光に対応
●『光電気化学エッチング装置(PEC装置)』
GaNを低ダメージ・高速エッチング